ICP還可以作為原子化器，如以空心陰燈為光源互動講，ICP為原子化器的原子熒光光譜儀.這類儀器不采用單色器穩定性，以ICP為中心，在周圍安裝多個(gè)檢測單元(每一元素配一個(gè)檢測單元),形成了多元素分析系統(tǒng).

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀可以進(jìn)行冶金礦業(yè)中雜質(zhì)元素和主量元素的含量分析過程中。

多電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀是領(lǐng)域無機(jī)分析能手去突破，環(huán)境中大氣、水質(zhì)達到、土壤和固廢污染物中無機(jī)元素分析智能設備； 食品藥品中營養(yǎng)元素和污染元素的定性定量分析；

電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀具有自主封裝技術(shù)的高速 CCD 數(shù)采系統(tǒng)蓬勃發展，可以對紡織品特點、玩具、催化劑重要性、石油等各種樣品進(jìn)行無機(jī)元素分析又進了一步。

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